項(xiàng)目概況 太原理工大學(xué)集成電路學(xué)院半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)設(shè)備項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在山西政府采購平臺(tái)（://.../-/#/）上獲取招標(biāo)文件，并于年月日時(shí)分（北京時(shí)間）前在“山西政府采購平臺(tái)”投標(biāo)人端提交投標(biāo)文件。 一、項(xiàng)目基本情況.項(xiàng)目編號(hào)：（--）.項(xiàng)目名稱：太原理工大學(xué)集成電路學(xué)院半導(dǎo)體微納加工平臺(tái)設(shè)備.采購計(jì)劃文號(hào)：----.采購方式：公開招標(biāo).預(yù)算金額：.元.最高限價(jià)：.元.采購需求：本次招標(biāo)共包，參與投標(biāo)的投標(biāo)人應(yīng)按照招標(biāo)文件要求按包編制投標(biāo)文件，提交的投標(biāo)文件應(yīng)實(shí)質(zhì)性上響應(yīng)本招標(biāo)文件的要求。序號(hào)標(biāo)的名稱數(shù)量單位簡(jiǎn)要技術(shù)需求備注*反應(yīng)離子刻蝕機(jī)臺(tái)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)常用于刻蝕電介質(zhì)等化學(xué)鍵能較大的材料，是一種廣泛用于芯片制造刻蝕的工藝，能夠以極高的精度和對(duì)材料的最小損傷來刻蝕晶圓材料。主要用途：主要應(yīng)用再微電機(jī)系統(tǒng)（）光電子器件納米材料研究等領(lǐng)域，用來進(jìn)行介質(zhì)，有機(jī)物材料的刻蝕。主要技術(shù)指標(biāo)：刻蝕速率：≥/； 刻蝕角度：°±°；選擇比：&;:() ；刻蝕均一性：%。臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)鍍膜平臺(tái)套應(yīng)用范圍非常廣泛，幾乎涵蓋了現(xiàn)代工業(yè)和日常生活的各個(gè)方面。臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)鍍膜平臺(tái)在集成電路制造中，真空鍍膜設(shè)備用于制造薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。我課題組在開展高性能薄膜制備，該設(shè)備用于制備：、、 等低熔點(diǎn)金屬或有機(jī)物。廣泛應(yīng)用于物理、生物、化學(xué)、材料、電子等領(lǐng)域，可沉積單層膜/多層膜。熱蒸鍍技術(shù)是工業(yè)鍍膜的主要技術(shù)之一，易于科研成果轉(zhuǎn)化，是新技術(shù)向工業(yè)領(lǐng)域推廣的最經(jīng)濟(jì)有效的方法之一。是否允許代理商參加是是否接受聯(lián)合體參加否是否允許合同分包否合同履約期限自合同簽訂之日起個(gè)工作日內(nèi)完成所供貨物的運(yùn)輸、安裝、調(diào)試，達(dá)到技術(shù)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)；對(duì)所供貨物的免費(fèi)配套服務(wù)期限按合同條款執(zhí)行。履約地點(diǎn)山西省晉中市....