公示簡要情況說明：
一、采購人名稱：杭州市北京航空航天大學(xué)國際創(chuàng)新研究院（北京航空航天大學(xué)國際創(chuàng)新學(xué)院）
二、進(jìn)口產(chǎn)品公示編號(hào)：importedProduct2024091097542545
三、采購項(xiàng)目名稱：8英寸大面積電子束曝光機(jī)
四、采購組織類型：
五、采購項(xiàng)目概況：
標(biāo)的名稱：8英寸大面積電子束曝光機(jī)
預(yù)算金額(元)：13820000
數(shù)量：1
單位：套
貨物或服務(wù)的說明:擬采購的8英寸大面積電子束曝光機(jī)設(shè)備是芯片制造微納米技術(shù)重要工藝設(shè)備之一，屬于高粘密設(shè)備。可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形化加工，是利用電子束掃描將設(shè)計(jì)的圖案直接光刻在涂有光刻膠的襯底材料上，輔以刻蝕/剝離制程實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移以及微納結(jié)構(gòu)的制備。光刻設(shè)備作為整個(gè)集成電路制造中最復(fù)雜和最關(guān)鍵的設(shè)備之一，其分辨率和套刻精度直接決定了所制造的集成電路的集成度，光源的波長是影響光刻精度的主要原因，高能電子的波長較小，電子束光刻的加工精度可達(dá)到10nm以內(nèi)，適用于高分辨率電子束光刻工藝，并可對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確的成像度量，在高度掩模制備、原型器件開發(fā)、小批量生產(chǎn)以及多個(gè)學(xué)科的基礎(chǔ)研究中有著不可替代的作用，對(duì)于微納結(jié)構(gòu)形狀多樣化和極端精度要求的基礎(chǔ)科學(xué)研究和定制化加工應(yīng)用有重要意義，對(duì)新原理/新器件、集成電路設(shè)計(jì)、微機(jī)電系統(tǒng)、生物醫(yī)學(xué)電子、存-算融合計(jì)算架構(gòu)和芯片、量子計(jì)算芯片等，以及相關(guān)交叉領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究尤為重要。
六、符合上述采購要求的進(jìn)口產(chǎn)品產(chǎn)地、品牌（一家及以上）：
| 序號(hào) | 品牌/廠家 | 產(chǎn)地 |
|---|---|---|
| 1 | / | / |
七、申請(qǐng)理由：
針對(duì)該設(shè)備國產(chǎn)化，國內(nèi)具有一定的研究基礎(chǔ)，但其中一些關(guān)鍵零部件無法進(jìn)行自主化制備，關(guān)鍵參數(shù)一直達(dá)不到國際先進(jìn)水平，分辨率、套刻精度、及拼接度尚處于百納米的階段，且自動(dòng)化程度低，設(shè)備性能及可靠性低，主要為實(shí)驗(yàn)教學(xué)用設(shè)備，整體而言，目前國內(nèi)類似設(shè)備與所調(diào)研的進(jìn)口設(shè)備之間存在較大差距，主要體現(xiàn)在五個(gè)方面：熱場效應(yīng)電子源高加速電壓、高掃描速度、激光于涉儀高精度定位以及高精度偏轉(zhuǎn)補(bǔ)償體系。因此目前國內(nèi)設(shè)備無法滿足該項(xiàng)目科研及教學(xué)要求。
八、論證專業(yè)人員信息及意見：
| 專業(yè)人員姓名 | 專家人員職稱 | 專業(yè)人員工作單位 |
|---|---|---|
| 戈肖鴻 | 正研級(jí)高級(jí)工程師 | 浙江欣芯微機(jī)電制造有限公司 |
| 焦海龍 | 高級(jí)工程師 | 航天科技集團(tuán)九院704所 |
| 楊陽 | 研究員 | 中國科學(xué)院深?？茖W(xué)與工程研究所 |
| 田義超 | 研究員 | 杭州極弱磁場國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施研究院 |
| 戚梟棟 | 律師 | 浙江澤懷律師事務(wù)所 |
專業(yè)人員對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品技術(shù)性能先進(jìn)性、采購必要性的論證意見：
專家組聽取了儀器采購單位對(duì)該設(shè)備申購進(jìn)口儀器的用途和作用介紹，分析了目前該儀器在國內(nèi)的使用和研究情況。該產(chǎn)品在性能和技術(shù)上具有較強(qiáng)優(yōu)勢，在微納米技術(shù)領(lǐng)域被廣泛認(rèn)可，有助于項(xiàng)目的順利開展，提高工作效率和成果質(zhì)量。國產(chǎn)產(chǎn)品的性能和技術(shù)水平不足，適用于教學(xué)以及基本科研用途，無法滿足高精度、多功能、高穩(wěn)定性的工藝需求，可能會(huì)導(dǎo)致工作受到實(shí)質(zhì)性影響。因此，建議購買該進(jìn)口設(shè)備，詳細(xì)意見見附件。
九、其它事項(xiàng)：
1、本項(xiàng)目公告期限為5個(gè)工作日，供應(yīng)商對(duì)該項(xiàng)目擬采購進(jìn)口產(chǎn)品及其理由和相關(guān)需求有異議的，可以在公示期限內(nèi)（截止時(shí)間為本公示發(fā)布之日后的第6個(gè)工作日），以書面形式向采購人及同級(jí)財(cái)政監(jiān)管部門提出異議。
2、其他事項(xiàng)
十、聯(lián)系方式：
1.采購人信息
名稱：杭州市北京航空航天大學(xué)國際創(chuàng)新研究院（北京航空航天大學(xué)國際創(chuàng)新學(xué)院）
聯(lián)系人：李老師
聯(lián)系電話：18810884221
傳真：/
地址：浙江省杭州市余杭區(qū)瓶窯鎮(zhèn)雙紅橋街166號(hào)
2.同級(jí)政府采購監(jiān)督管理部門名稱：北航國際創(chuàng)新研究院自行采購采購監(jiān)管
聯(lián)系人：劉老師
監(jiān)管部門電話：0571-28881095
傳真：/
地址：/
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