公示簡要情況說明：

一、采購人名稱：杭州市北京航空航天大學國際創(chuàng)新研究院（北京航空航天大學國際創(chuàng)新學院）

二、進口產品公示編號：importedProduct2024091097542545

三、采購項目名稱：8英寸大面積電子束曝光機

四、采購組織類型：

五、采購項目概況：

標的名稱：8英寸大面積電子束曝光機

預算金額(元)：13820000

數量：1

單位：套

貨物或服務的說明:擬采購的8英寸大面積電子束曝光機設備是芯片制造微納米技術重要工藝設備之一，屬于高粘密設備?？蓪崿F納米級圖形化加工，是利用電子束掃描將設計的圖案直接光刻在涂有光刻膠的襯底材料上，輔以刻蝕/剝離制程實現圖案的轉移以及微納結構的制備。光刻設備作為整個集成電路制造中最復雜和最關鍵的設備之一，其分辨率和套刻精度直接決定了所制造的集成電路的集成度，光源的波長是影響光刻精度的主要原因，高能電子的波長較小，電子束光刻的加工精度可達到10nm以內，適用于高分辨率電子束光刻工藝，并可對納米結構進行精確的成像度量，在高度掩模制備、原型器件開發(fā)、小批量生產以及多個學科的基礎研究中有著不可替代的作用，對于微納結構形狀多樣化和極端精度要求的基礎科學研究和定制化加工應用有重要意義，對新原理/新器件、集成電路設計、微機電系統(tǒng)、生物醫(yī)學電子、存-算融合計算架構和芯片、量子計算芯片等，以及相關交叉領域的基礎研究和應用研究尤為重要。

六、符合上述采購要求的進口產品產地、品牌（一家及以上）：

序號品牌/廠家產地
1//

七、申請理由：

8英寸大面積電子束曝光機屬于高性能指標機型，目前市場上可滿足性能指標要求的廠家只有進口品牌的廠家，主要有德國Raith公司、日本JEOL公司、日本Crestec公司、英國NanoBeam公司四家在該領域有一定的造詣，均集成有激光于涉樣品臺，可實現大面積納米結構的加工，并且在向大面積、高電壓、小束斑、高精度、智能化的方向發(fā)展。
針對該設備國產化，國內具有一定的研究基礎，但其中一些關鍵零部件無法進行自主化制備，關鍵參數一直達不到國際先進水平，分辨率、套刻精度、及拼接度尚處于百納米的階段，且自動化程度低，設備性能及可靠性低，主要為實驗教學用設備，整體而言，目前國內類似設備與所調研的進口設備之間存在較大差距，主要體現在五個方面：熱場效應電子源高加速電壓、高掃描速度、激光于涉儀高精度定位以及高精度偏轉補償體系。因此目前國內設備無法滿足該項目科研及教學要求。  

八、論證專業(yè)人員信息及意見：

專業(yè)人員姓名專家人員職稱專業(yè)人員工作單位
戈肖鴻正研級高級工程師浙江欣芯微機電制造有限公司
焦海龍高級工程師航天科技集團九院704所
楊陽研究員中國科學院深海科學與工程研究所
田義超研究員杭州極弱磁場國家重大科技基礎設施研究院
戚梟棟律師浙江澤懷律師事務所

專業(yè)人員對進口產品技術性能先進性、采購必要性的論證意見：

專家組聽取了儀器采購單位對該設備申購進口儀器的用途和作用介紹，分析了目前該儀器在國內的使用和研究情況。該產品在性能和技術上具有較強優(yōu)勢，在微納米技術領域被廣泛認可，有助于項目的順利開展，提高工作效率和成果質量。國產產品的性能和技術水平不足，適用于教學以及基本科研用途，無法滿足高精度、多功能、高穩(wěn)定性的工藝需求，可能會導致工作受到實質性影響。因此，建議購買該進口設備，詳細意見見附件。

九、其它事項：

1、本項目公告期限為5個工作日，供應商對該項目擬采購進口產品及其理由和相關需求有異議的，可以在公示期限內（截止時間為本公示發(fā)布之日后的第6個工作日），以書面形式向采購人及同級財政監(jiān)管部門提出異議。

2、其他事項

十、聯(lián)系方式：

1.采購人信息

名稱：杭州市北京航空航天大學國際創(chuàng)新研究院（北京航空航天大學國際創(chuàng)新學院）

聯(lián)系人：李老師

聯(lián)系電話：18810884221

傳真：/

地址：浙江省杭州市余杭區(qū)瓶窯鎮(zhèn)雙紅橋街166號

2.同級政府采購監(jiān)督管理部門名稱：北航國際創(chuàng)新研究院自行采購采購監(jiān)管

聯(lián)系人：劉老師

監(jiān)管部門電話：0571-28881095

傳真：/

地址：/





附件信息:

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